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東莞市夏陽新材料有限公司

2026年2月2日 星期一 11時01分26秒

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半導體設備
陶瓷機械手臂
陶瓷機械手臂又稱、陶瓷機械手指、晶圓托盤、晶圓機械手臂等,主要在半導體設備中起到輸送搬運的作用，它相當于半導體設備這個機器人的手，負責搬運晶圓硅晶片到指定位置。

   產品特點

  1. 產品精度高

  2. 氣密性好

  3. 耐高溫性好

  4. 表面電阻率可控

  5. 耐酸堿、抗腐蝕能力強，能適應極度惡劣


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氧化鋁陶瓷


產品性能單位參數
電阻率Ω碳化硅1x105
氧化鋁1x1014
最高使用溫度℃分體式手臂350
一體式手臂800
吸附面光潔度Ra0.01
吸附面平面度m m0.01內


▲ 自密性檢測:關閉真空氣源，負壓-85Kpa到-80Kpa，時長達60s以上
▲ 晶圓吸附檢測:關閉真空氣源，負壓-80Kpa到-25Kpa，時長達35s以上